项目

单位

Al2O3

Al2O3

AlN

Si3N4

含量

%

96

99.6

/

/

密度

g/cm3

3.7

3.9

3.3

3.3

热导率

25℃（W/m.K)

＞24

≥30

＞170

＞83

热膨胀系数

（25-300℃）x10-6/℃ 

7.0

7.2

4.6

2.9

抗弯强度

MPa

＞350

＞420

＞310

＞830

弹性模量

GPa

＞320

＞380

＞320

＞320

介电常数

1MHz

9.4

9.9

8.5

9.0

介电损耗角正切值

1MHz

0.0004

0.0001

0.0003

0.002

电气强度

KV/mm

＞15

＞15

＞14

＞15

体积电阻率

25℃（Ω·cm ）

＞1014

＞1014

＞1014

＞1014

基片厚度

0.15mm

0.2mm

0.25mm

0.3mm

0.381mm

0.5mm

0.635mm

金属层情况

Ti层：80-150nm；Cu过渡层：600nm；Cu电镀层：3-100μm；

项目

单位

Al2O3（96%）

Al2O3（99.6%）

AlN

Si3N4

最大尺寸

mm

101.6*101.6

101.6*101.6

101.6*101.6

101.6*101.6

外形尺寸公差

mm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

产品厚度公差

/

±7%

±7%

±7%

±7%

线宽、线距

mm

≥0.05

≥0.05

≥0.05

≥0.05

翘曲

/

≤4‰

≤4‰

≤4‰

≤4‰

可焊性

/

＞95

＞95

＞95

＞95

铜表面Ra

μm

≤1

≤1

≤1

≤1

应用温度范围

℃

（-55，600）

（-55，600）

（-55，600）

（-55，600）

表面处理

防氧化处理

表面镀镍层厚度：1-7μm

表面镀金厚度：0.1-3μm

表面化镍金